1、光源
光源是 塵埃粒子計數(shù)器 的關(guān)鍵部件,對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。
光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈,體積大、發(fā)熱量高、壽命短,開機后需要預(yù)熱。激光光源為激光器,體積小、穩(wěn)定性高、壽命長,常與檢測腔及光檢測器做成一體,組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。
2、測量腔
測量腔是進行微粒觀測的空間,被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中,形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時,會散射出一部分光能量,被與人射光成一角度(900或700)的集光透鏡收集,再投射到光檢測器上。
3、光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。 塵埃粒子計數(shù)器 中較常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。
光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號,光譜具有線性好、響應(yīng)時間快、暗電流小的優(yōu)點,缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓,儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路,在對儀器進行調(diào)試或校準時應(yīng)注意安全。
光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件,具有體積小、外圍電路簡單的特點,常與檢測腔做成一體。
4、流里監(jiān)控
目前國產(chǎn)塵埃粒子計數(shù)器常采用轉(zhuǎn)子流量計作流量指示,儀器的流量調(diào)節(jié)大多數(shù)是直接調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計上的旋鈕,此時儀器的控制電路對流量是沒有監(jiān)控的。進口塵埃粒子計數(shù)器通過流量傳感器對流量進行監(jiān)測,通過手動調(diào)節(jié)或自動反饋調(diào)節(jié)。
5、氣泵及過濾器
氣泵位于儀器內(nèi)部,使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應(yīng)能過濾掉0.3ftm以上的微粒,以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
6、電路系統(tǒng)
不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后,會產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號,粒徑越大,脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系,也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器,粒徑大小與脈沖電壓是一一對應(yīng)的。